• Durchmesser 290, 390 und 520 mm
  • Bauhöhen 22 und 30 mm
  • Dauermoment bis 31 Nm
  • Optische Encoder, absolut und inkrementell
  • Hohlwellendurchmesser bis 340 mm
  • Genauigkeit bis ± 15 arc sec
  • Wiederholgenauigkeit von ± 1,5 arc sec
  • Rundlaufgenauigkeit bis 0,01 mm
  • Planlaufgenauigkeit bis 0,01 mm

Ultraflacher Rundtisch mit großer Hohlwelle. In der Halbleiterfertigung und Inspektion eingesetzt, eignen sich die extrem flachen, dynamischen und wartungsfreien Drehachsen für Anwendungen in denen eine hohe Positioniergenauigkeit und Gleichlaufgüte gefordert ist. Die kippsteife, spielfreie Konstruktion erreicht trotz geringer Höhe eine hohe Drehmomentdichte. Die hochauflösenden Encoder stehen als inkrementelle Ausführung oder mit absoluter Schnittstelle zur Verfügung. Die große Hohlwelle erlaubt das Durchführen von ganzen Wafern bis 12 Zoll Größe oder Anwendungen mit Durchlicht.

Technische Daten - DMT-B

Technische Daten Rundtisch

 

Technische Daten Motor

Drehmoment-Drehzahl Diagramm

                                                             

Abmessungen


Technische Daten - DMT-F

Technische Daten Rundtisch

 

Technische Daten Motor

Drehmoment-Drehzahl Diagramm

                                                             

Abmessungen


Technische Daten - DMT-K

Technische Daten Rundtisch

 

Technische Daten Motor

Drehmoment-Drehzahl Diagramm

                                                             

Abmessungen


CAD Konfigurator & Daten

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Betreff: DMT Rundtische

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